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凈化車間特征
潔凈度等級一般為萬級，室內要求恒溫恒濕，風量、溫度、濕度、壓差、排風按需受控，照度、潔凈室截面風速按照標準嚴格控制，ESD控制嚴格即靜電有特別要求。相對濕度控制在50-60%之間，以免導致廠房干燥從而產生靜電，造成CMOS集成損壞。
結構材料
1.墻面天花：凈化廠房墻、頂板材采用50mm厚夾芯彩鋼板，角與角之前的拼接選用圓弧連接，宜清潔且美觀；
2.地坪：用2mm/3mmPVC防靜電地坪，減少靜電干擾；
3.管道：送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板；
4.送風口：送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
凈化無塵車間通風工程
凈化工程包括:
(1)通風系統(tǒng)(送排風)。
(2)空調系統(tǒng)(制制熱)。
(3)潔凈空調機組(新風過濾單元或過濾器)。
(4)空氣調節(jié)系統(tǒng)(溫度調節(jié)和濕度調節(jié))
小粒徑粉塵在無塵車間的擴散效應(布朗運動)明顯，風速低，氣流在過濾材料中停留的時間較長，粉塵有更多機會撞到障礙物，因此過濾。經驗表明，對于HEPA過濾器，風速降低一半，灰塵的透射率降低近一個數(shù)量級(效率值提高9)，風速加倍，透射率提高一個數(shù)量級(效率降低9)。與擴散效應類似，當過濾材料帶靜電(駐極體材料)時，粉塵在過濾材料中停留的時間越長，就越有可能被材料吸附。
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